光刻机是在1822年由法国人尼埃普斯发明的。最初，尼埃普斯发现了一种能够刻在油纸上的印痕，这种印痕在出现在玻璃片上后，经过一段时间的暴晒，透光的部分会变得很硬，而不透光的部分则可以用松香和植物油将其洗掉。虽然光刻机在早期的功能相对简单，使用的材料也比较粗糙，但它为后来的集成电路制造奠定了重要基础。